魏致中

台灣積體電路(股)公司

   緊急應變中心

一、前言

半導體產業在過去數十年的發展，已經垂直分工成積體電路設計、晶圓製造、晶片封裝、測試等階段，也發展出大大小小各種類型的公司。然而由於晶圓製造的領域所應用的技術密集、各種工程與科學的應用都在晶圓製造的流程中被廣泛的應用，外加各種製程變更頻繁與生產調配頻率高，與其他行業相較，生產管理的應用更為嚴謹。此外，晶圓廠另一個特色就是必須管理各式各樣的特殊氣體、化學品、高低電壓、電漿等高風險物質，由於高風險就必須有完善的管理制度，從廠房建廠時期的設計就必須將安全列為重要的考量(Design In), 從建廠時期(Construction Stage)的設計到裝機(Hook up Stage)時期的制度導入，可以說是晶圓廠安全衛生與風險管理上，最為重要的一環。然而安全衛生管理制度在傳統行業或甚至其他科技製造業，都是可以相互應用的，其實就是管理風險問題與解決風險問題的方法。

工業安全衛生計劃(ESH Project)是推動工業安全衛生管理制度不可或缺的重要一環，主要是能利用專案計劃的推動，落實高風險的作業管制與強化員工的教育訓練，並藉由定期的追蹤會議(依「勞工安全衛生法」可稱為安全衛生委會)來達到工業安全衛生的績效。本文將簡介晶圓廠常推行的工業安全衛生計劃的目標與架構、績效評量指標與願景等，以作為中小企業堆行安全衛生計劃的參考。

二、工業安全衛生計劃的先期審查 

在推行年度工業安全衛生計劃之前，首先必須審查廠區的風險 (Risk)是否經過適當的評估，對於已知的高風險作業或區域就必須有安全衛生計劃來加以控管，即是作業管制。此外，對於員工的安全衛生訓練也可以是安全衛生計劃的一部份。然而為達到最大的效益，安全衛生計畫必須融入而成為公司文化的一部份。

在半導體晶圓廠常使用的風險分析的方法有許多種，如製程安全評估(Process Hazard Assessment)、安全檢核表(Safety Checklist) 、SEMI S2-0200 Review、工作安全分析(Job Safety Analysis)，在此不對此些方法詳細介紹，但對一般中小企業而言，簡單的廠區作業流程與工作分析就可掌握工廠內的風險，再依此些工作分析的結果來擬定安全衛生計劃。

三、工業安全衛生計劃的目標與架構

提供及建立一個安全的工作場所，是管理階層的責任，因此我們可以很自然的推斷，為了使工業安全計畫有效地運用，就必須有管理階層的承諾。工業安全衛生計劃的目標就是藉由高階主管的承諾，來推動並落實「安全衛生政策 (Safety and Health Policy)」。故推動安全衛生計劃主要的目標為：

Ø   確保員工工作場所安全衛生與環境品質，並保護公司資產。

Ø   管理工作場所的潛在風險，並預防意外事故或事件。

Ø   營造安全衛生的舒適環境。

Ø   提高資源使用效率，致力成為綠色企業。

圖 1為運轉晶圓廠推行安全衛生計劃的流程，圖 2為推行安全衛生計劃的架構，管理階層藉由定期審查會議的追蹤來確認安全衛生計劃的成效。此安全衛生計劃的架構有助於工作場所風險的控制與安全衛生專案的推動。

四、安全衛生計劃的績效評量指標

許多管理者在安全衛生計劃推動後，常會懷疑工作場所的風險是否都已被妥善的控制？其他公司發生的火災、爆炸、毒性氣體外洩等意外事故是否會在自已的工廠發生？安全衛生的績效評量指標(Safety & Hygiene Index)有助於管理者在定期審查會議時評量廠區的安全衛生概況。筆者在此介紹一些晶圓廠常用的評量指標，如下：

Ø   意外事故發生率(Incident Rate)與意外事件發生率(Event Rate)：即統計意外事故與事件的月發生率。發生率可與相同標準的晶圓廠發生率、過去年發生率做比較，更進一步分析事故或事件的類型、發生原因，以作為安全衛生計劃的參考。

Ø   職業傷害頻率(FR)與職業傷害嚴重率(SR)：員工職業傷害頻率單位為每千人傷害的頻率，傷害嚴重率則為加權工時損失後的比率。職業傷害頻率(FR)與職業傷害嚴重率(SR)的統計可與政府單位、國際標準等進一步進行比較，更了解廠區安全衛生的概況。

Ø   承攬商的職業傷害頻率(FR)與職業傷害嚴重率(SR)：晶圓廠的承攬商在工廠內所面臨的風險遠比員工來的高，但其統計不易且常常被工程執行單位所忽略。保健中心(Health Center)的急救(First Aid)資訊可與承攬商的職業傷害頻率(FR)與職業傷害嚴重率(SR)統計結合，才能進一步統計此數據。承攬商所造成的意外必需加以分析與控管、才能真正降低廠區安全衛生的風險。

Ø   安全衛生相關訓練完訓率：晶圓廠工程單位必須參予的訓練遠多於其他大型企業，特別是安全衛生相關的訓練。其完訓率應列為各部門參予各項訓練完成的指標。

緊急應變演習評量：緊急應變計劃與演練是晶圓廠安全衛生文化重要的一部份，藉由活動的競賽與演習評量，來落實緊急應變的能力。

安全衛生評量指標並不是一成不變的。基本上，持續的審查可以確保安全衛生管理計畫的執行是否仍然適當。意外事故或事件影響後果暴露程度及機率的因素會隨著時間改變，而影響安全或風險控制適用性的因素也可能改變，管理循環的重複自有其必要性，審查遂成為安全衛生管理計畫不可或缺的一部份。

圖 1 推行安全衛生計劃的流程

五、中小企業安全衛生計劃的推動

「提供一安全衛生且舒適的工作環境」可說是安全衛生計劃的願景。藉由安全衛生計劃的推動、稽核、審查及經驗分享後，顯示任何公司執行有效的安全衛生管理計畫其可能獲取的成效有︰

Ø   意外事故與意外事件的持續降低

Ø   因工作場所傷害導致之損失工時的減少

Ø   提升員工參與程度

Ø   員工對職業安全衛生管理計畫的自主感增加

Ø   提高工作場所的士氣

Ø   降低成本

既然安全衛生計劃的推動有許多的好處，中小企業是否有需要導入有效的安全衛生管理計畫？答案是肯定的。 中小企業也許組織與人力、廠區的工作環境、生產流程與風險遠較於晶圓廠來的小，但藉由安全衛生管理計劃的推動，更能達成增加生產力與降低成本的目標。圖1安全衛生計劃的流程與圖2安全衛生的架構對中小企業而言，可將其與作業改善、品保等結合成一套管理制度，更能有效推動安全衛生管理。

圖 2 推行安全衛生計劃的架構