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一、 前言
表面處理（ surface treatment or surface finishing）在一般人認為就是傳統化工產業中的電鍍（electroplating or plating）及塗裝（painting），且往往與金屬表面處理劃為等號。其實表面處理所涉及的學門領域，不止於化學、化工，尚包括材料、機械、電機及電子；所處理的工作物件中含蓋金屬及非金屬材料，從傳統產業的金屬／非金屬（如塑膠）五金、汽車零組件、鋼材，至高科技產業的民用及軍用航空器、印刷電路板、晶片、晶圓、液晶顯示器。因此在我國環保署的法令上，對（金屬）表面處理工業所規範的定義即為：包括噴砂、酸洗、鹼洗、電解脫脂、噴塗漆及銅面蝕刻等金屬表面處理、陽極處理、金屬與非金屬電鍍工業、半導體工業及以有機溶劑為洗滌作業之電子、印刷電路板工業。
表面清洗（ surface cleaning）是表面處理程序中的一項重要前處理，將工作物件表面上的有機油污及無機污垢除去，使其表面處於對電鍍或塗裝等程序上成為最適處理的狀態。一般而言，表面清洗的種類包括脫脂（degreasing）、酸洗（pickling）及活化（activating），其目的和方法各有不同。由於含氯有機溶劑具有高揮發性、高溶解力、低可燃或可爆性、高密度蒸氣，化學安定性，低沸點、高蒸氣壓等特性，因此廣泛地使用於脫脂、乾洗、電子元件清洗、冷洗（cold cleaning）、漆料剝除劑（stripper）等製程中。故本文僅就含氯有機溶劑脫脂清洗處理作業中所可能衍生的勞工安全衛生及空氣污染防治議題，作一深入淺出的介紹，期作為國內產業界針對此一屬有害空氣污染物（hazardous air pollutant，HAP）之揮發性有機化合物（volatile organic compound，VOC）有一整體性防治作法。本文主要包括以下部分：
1. 表面含氯有機溶劑清洗處理技術介紹
2. 含氯揮發性有機溶劑特性、使用及排放現況
3. 國內相關空氣污染防治法令
4. 國內相關勞工安全衛生法令
5.表面清洗處理污染預防及控制技術發展介紹
二、 表面含氯有機溶劑清洗處理技術介紹
(一)、表面有機溶劑脫脂清洗目的
在工作物件的表面上做種種的前處理之前，需先使該表面成為一最適宜處理的狀態，即為前處理（ pretreatment），主要乃去除工作物件上之積垢、油脂、硬化層、氧化膜（銹）等異物，而其方法主要有研磨及清洗（或洗淨，cleaning），後者主要的工程方法即包括脫脂，以去除礦物及動、植物性油脂為目的，其方法包括浸漬脫脂、蒸氣脫脂等。
(二)、 表面清洗油污原理
對於這些油污之去除原理大致上可分為四種作用，即溶解、浸濕／乳化作用、皂化及機械作用。其中溶解作用乃藉含氯有機溶劑等對油脂之溶解力，直接溶解去除，其中又可分為蒸氣脫脂（ vapor degreasing）及冷脫脂（cold degreasing），為有機溶劑脫脂之主要機制。
(三)、表面有機溶劑脫脂清洗方法
由上述這些油污清洗去除之作用原理，目前常用的有機溶劑脫脂方法計有：
1. 溶劑清洗（solvent cleaning）
此法又可稱為冷洗或冷脫脂，乃是在常溫、常壓下將工作物件浸泡於液態有機溶劑內或藉噴洗、刷洗等方式清洗，故一般乾洗業就是採用此種方式。常用的有機溶劑計有：(1) 含氯碳氫化合物；基於此種溶劑之特性，為目前最常使用的溶劑類型。常用者有甲基氯仿、二氯甲烷、三氯乙烯、四氯乙烯、HCFC-141b等（註：在蒙特婁公約未制定前，產業界常使用者為CFC-113）。(2)醇類；如異丙醇。(3)脂肪族石油類；如礦油精、煤油精、輕油精等。(4)酮類；如丙酮、丁酮等。(5)其它；如醚醇類、BTEXs等。
2.蒸氣脫脂
此法之基本原理乃是利用工作物件表面之溫度通常低於脫脂有機溶劑之沸點溫度，因而能使有機溶劑蒸氣在其表面上冷凝，所附著的油脂因此溶於冷凝的有機溶劑內。此含油污的溶劑則滴落於脫脂槽內，再氣化成蒸氣上升，而將油脂等污物留置於槽底。常用的蒸氣脫脂溶液計有二氯甲烷、三氯乙烯、四氯乙烯、甲基氯仿等。這些溶劑型清洗液之選用除需考慮工程品質和經濟效益外，尚需評估其與安全衛生和環保之相關性，此點將於後段文章敘述之。
三、 含氯揮發性有機溶劑特性、使用及排放現況
(一)、含氯有機溶劑特性
含氯有機溶劑具有許多相當優良的性質，例如高溶解力、高蒸氣密度、化學安定性、低沸點、低爆炸性等。它亦屬於 VOC。由於含氯VOC特性上之差異，例如毒性、光分解穩定性等，其物理性質、環境及健康問題上之相關性上主要有以下四點，如表1所示：
1. 毒害性
含氯有機溶劑蒸氣本身即具有危害性。其侵害人體的標的部位（ target organs）為皮膚、呼吸系統、腎、肝、中樞神經系統等。前面所提含氯有機氯溶劑中除1,1,1-三氯乙烷、HCFC-141B及HCFC-225ca/cb以外，其它大多已被疑為動物致癌物（suspected animal carcinogen）。
2. 衍生性（ secondary）空氣污染物
含氯 VOC分子可受到280-730 nm波長之紫外光照射而形成游離基，並經由一連串複雜的大氣光化學反應而生成光化學煙霧、氯化氫等衍生性空氣污染物，對人類及動植物具有危害性，例如刺激眼睛、刺激呼吸道黏膜等，故三氯乙烯、四氯乙烯等已被列為管制對象。
3. 臭氧層破壞潛在性
含氯有機溶劑雖不若氟氯碳化物（ CFCs）化性安定，但仍有部分化合物在大氣中之壽命高達數年以上，例如1,1,1-三氯乙烷為7年。評估化合物致臭氧層消失之貢獻程度常使用「臭氧破壞勢能」（ozone depletion potential，ODP）。由於這些化合物部分會傳輸至平流層（包括臭氧層）而破壞其中所含的臭氧，因此1,1,1-三氯乙烷（另一為四氯化碳）已於1996年起，逐步被列為管制禁止使用對象。
4. 全球暖化潛在性
含氯 VOC亦屬於溫室效應氣體，且其「全球暖化勢能」（global warming potential，GWP）為二氧化碳（CO 2 ）的數倍至上千倍；例如1,1,1-三氯乙烷的GWP雖為CFC-11的0.03倍，但卻為CO 2 的12倍。
(二)、含氯有機溶劑使用和污染排放現況
表 2所示為近年來（1996-2002）國內主要含氯有機溶劑進口總量，由此表可略知國內使用現況，因這些溶劑除HCFC-141b外，大多是仰賴進口的。三氯甲烷及二氯甲烷的使用量較大，每年超過5000公噸，其次為三氯乙烯及HCFC-141b，年使用量近2,000公噸。惟前者可能是受到國內環保法規（後述）要求，已由高峰的8000公噸下降至低於2000公噸，而後者雖受蒙特婁公約之限制使用，但因其特性、價格優勢，用量仍居高不下。四氯乙烯年進口量則類似三氯乙烯，逐年下降至約200公噸左右，至於1,1,1-三氯乙烷，近年進口量維持在1,000公噸左右，預期將隨削減（phase-out）時程逐年遞減；HCFC-225ca/cb雖特性佳，但單價昂貴，致進口量已低至10公噸以下。
含氯有機溶劑多數使用於批次開放式或半開放式製程上，故其排放多為逸散性（ fugitive）面源，但有時將此種面源以局部排氣或整體排氣方式導入尾氣排放或處理系統，而後排入於大氣環境中。此外，亦有甚多是以液體形式而成為含氯有機溶劑廢液。上述廢氣即為有毒空氣污染物（air toxic或HAP），而廢液則屬有害（毒性）事業廢棄物。依美國1995年的「毒物排放清單（Toxics Release Inventory，TRI）」資料顯示（如表3所示），二氯甲烷及三氯乙烯分別高居所有美國勞工安全衛生署（Occupational Safety and Health Administration，OSHA）所列（疑似）致癌性化合物排放量的第一名及第三名，兩者排放量之和佔表列所有致癌物排放量35％以上。若再加上三氯甲烷及四氯乙烯的排放量，四者佔所有致癌物排放量的50％左右。目前國內尚未針對含氯有機溶劑污染排放進行全面調查，若以前述美國的資料加以粗估，即以進口量的25％作為保守排放量推估，當可發現國內主要含氯有機溶劑排放量可能高達每年5000公噸以上。
四、國內相關空氣污染防治法令
目前表面清洗處理業使用含氯揮發性有機溶劑者甚多，故其空氣污染排放之防治乃為各級政府環境保護施政之重點。國內有關 VOC空氣污染防治之法源為「空氣污染防制法」，其主要相關防制計有：
(一)、三級防治區內，既存之固定污染源應削減污染物排放量；新增或變更之固定污染源污染物排放量達一定規模者，應採用最佳可行控制技術（第6條）。環保署依此法源已公告「固定污染源最佳可行控制技術」，即Best Available Control Technology（BACT），其中包括使用低污染性原物料、採用低污染製程等污染預防技術，以及裝置空氣污染排放控制設備之污染控制技術。
(二)、固定污染源排放空氣污染物，應符合排放標準（第20條）。依此條法源，環保署已訂定有「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」、「乾洗作業空氣污染防治設施管制標準」及「固定污染源空氣污染物排放標準」。其中前二項分別主要管制排放管道中之三氯乙烯及四氯乙烯，而最後一項則係針對周界排放標準，即採勞工作業環境空氣中有害物容許濃度標準（單位：mg/m 3 ）之五十分之一。
(三)、公私場所經環保署指定公告之固定污染者，應於每年一月底前，向地方政府申報前一年空氣污染物之年排放量（第21條）。環保署依此法源於2002年12月31日公告「第一批公私場所應申報年排放量之固定污染源」，其中VOC年排放達30公噸以上者，自2004年起使用網路申報登錄。
(四)、公私場所具有經環保署指定公告之固定污染源，應於設置或變更前，檢具空氣污染防治計畫，向地方政府申請核發設置許可證（第24條）。依此法源，環保署已公布「固定污染源設置與操作許可證管理辦法」，並已公告共七批之公私場所，其中包括之相關製程別計有半導體／電晶體／二極體／液晶顯示器製造、金屬加工、印刷電路板製造、印刷作業等。
(五)、環保署得禁止或限制國際環保公約管制之易致空氣污染物質（第30條）。目前環保署已公告國際環保公約管制之易致空氣污染物質，包括本文所述之四氯化碳、甲基氯仿（1,1,1-三氯乙烷）、HCFC-141b及HCFC-225ca/cb。同時亦已訂定「氟氯 烴 消費量管制辦法」，其中氟氯 烴消費及產生基準量為 638.156ODP公噸，其削減時程分別為2004年起65％，2010年起35％，2015年起10％，2020年起0.5％，至2030年起全面禁用。
五、 國內相關勞工安全衛生法令
1970年代初期由於國內發生美商電子工廠女工因含氯有機溶劑中毒死亡多人等重大職業災害事件，政府因而於1974年4月16日立法公布「勞工安全衛生法」，並陸續公告其施行細則及相關衍生的法令。至1980年代末期，有鑒於工商業型態急遽轉變、有害化學物質廣泛使用等情勢，並順應國際安全衛生水準，遂分別於1991年5月17日及2002年6月12日修正公布新的「勞工安全衛生法」。本節簡述依勞工安全衛生法衍生之相關法令，作為在選擇表面清洗技術時之重要評估考量。
(一)、有機溶劑中毒預防規則（2000年12月27日修正發布）
1. 規範的 55種有機溶劑分為第一種（如氯仿、三氯乙烯等7種）、第二種（如二氯甲烷、四氯乙烯、1,1,1-三氯乙烷等41種）及第三種（如松節油等7種）有機溶劑。
2. 採取必要之設施，如密閉設備、局部排氣或整體換氣裝置，且局部排氣裝置之氣罩導管應符合規定，裝置之性能（即氣罩之控制風速）亦是，而整體換氣裝置應有規定以上之換氣量。
3. 於室內作業場所內，在規定作業時間內有機溶劑或其混存物之消費量不超越容許消費量。
(二)、危險物及有害物通識規則（1999年6月29日修正發布）
1. 對裝有危害物質之容器，應依規定之分類、圖示及格式內容予以明顯標示。
2. 對含有危害物質之物品應提供其物質安全資料表（ Material Safety Data Sheet，MSDS），並置於工作場所中易取得之處。
3. 訂定危害通識計畫及製作危害物質清單之通識制度，以便管理。
(三)、勞工作業環境測定實施辦法（2002年10月30日修正公布）
1. 有機溶劑作業場所，應每六個月測定其濃度一次以上。
2. 實施作業環境測定時，應依規定內容紀錄，並保存一定期限。
(四)、勞工作業環境空氣中有害物容許濃度標準（1995年6月30日修正發布）
此一標準極為類似美國工業衛生師協會（ ACGIH）之恕限值（Threshold Limit Value，TLV），表4就表面清洗處理作業中所使用之含氯有機溶劑列述其國內外勞工暴露標準及致癌性類別，以供參考。
(五)、勞工健康保護規則（2002年11月20日修正發布）
1. 從事四氯化碳、三氯乙烯、四氯乙烯之有機溶劑作業。
2. 針對前述之作業，應於勞工受僱或變更其作業時，實施依規定項目之特殊體格檢查，並做紀錄、保存一定年限，以及分級實施健康管理，包括健康追蹤檢查 、診治等。
六、 表面清洗處理污染預防及控制技術發展介紹
由以上所述可知表面清洗程序與環保（尤其是空氣污染）、勞工安全衛生法令具有密切的關聯性。有關含氯 VOC空氣污染排放回收預防與控制技術，可概分為非破壞（即回收性）及破壞性兩大類；前者常用者為活性碳吸附、吸收及冷凝，後者常用者為直接焚化及觸媒焚化，有時亦可使用製程設備單元，例如火焰燃燒器、鍋爐、加熱器。表5為常用VOC控制技術比較一覽。此外，尚有一些接近商業化或已開發階段之技術，包括薄膜分離、生物過濾（biofiltration）、紫外線氧化（ultraviolet oxidation）、電暈破壞（corona destruction）、電漿（plasma）技術等。由於採用之空氣污染控制設備往往非BACT方式，以下僅針對脫脂含氯溶劑清洗之產源減廢（source reduction）簡述其原物料替代和製程技術改變之污染預防技術發展現況，至於操作管理改善和回收再利用技術則不在此贅述。
(一)、原物料替代
原物料替代是預防有害物質排放至環境中的最佳策略。在證實一可實行的原物料替代時，可能會面對操作方法及製程上的保留或改變，因此替代品最好能與原操作方法和製程相容。在分析替代品步驟中，首先須對原使用溶劑分別做其功能分析（ functional analysis），即所謂「海森溶解參數（Hansen's Solubility Parameters，HSPs）」，此HSPs乃由溶劑的分散能（dispersion energy）、極性能（polar energy）及氫鍵能（hydrogen bonding energy）三種之組合。若兩種溶劑具有幾乎相同的HSPs值，表示它們可互為替代，但若找不出相同HSPs值溶劑，可由幾種不同HSPs值溶劑摻配而得，當然最後在評估可行性時，尚須考量這些替代溶劑毒性（例如TLV-TWA值）、成本、環境（例如ODP及GWP值）、安全（可爆炸上下限、閃火點）、法規要求（例如是否生物可分解）、可得到性、揮發度等。
目前在含氯脫脂劑替代方面的進展主要為毒性較低的有機溶劑（可參考 Environ Health Perspectives, Vol. 106, Sup. 1, Feb. 1998, p. 253, “Solvent Replacement for Green Processing”），即：
1. 可著火性溶劑（ flammable solvents）
這類溶劑大多屬於低分子量的碳氫化合物，包括醇類及酮類，其閃火點（ flash point）均低於37.8 ℃（100 ℉），具有高蒸氣壓、易揮發、優良的溶解力等特性，為光化學煙霧之前驅物，其在大氣環境中之存留壽命不高。目前以異丙醇（isopropyl alcohol, IPA）及礦油精（mineral spirits or petroleum spirits）最被看好。前者屬「有機溶劑中毒預防規則」中的第二種有機溶劑，後者則屬第三種有機溶劑。此外，甲醛類溶劑亦被使用。
2. 可燃性溶劑（ combustible solvents）
這類溶劑大多屬於高分子量的碳氫化合物，其閃火點高於 37.8 ℃（100 ℉），目前已在市面上推出的產品有松烯（terpenes，大多以d-limonene為主成分）、N-甲基-2 呲咯啶（ n-methyl-2-pyrrolidene，NMP）、雙鹼性酯（dibasic esters，DBE）、烷基醋酸酯（alkyl acetates）等。例如一種代號為Bioact DG-1的松烯替代品其閃火點為47 ℃。這些替代品大多可被生物分解（biodegradable）。
3. 其它種類之溶劑
例如 1,2二氯乙烯、氫氟醚（hydrofluoroether，HFE）、氫氟碳化物(HFCs)、全氟碳化物(PFCs)、五氟丙醇、乙二醇醚、甲基矽氧烷（methyl siloxanes）等。
(二)、 製程技術改變
在此所稱製程技術改變主要係指製程替代，即改用水洗（ aqueous or semi-aqueous cleaning）或免洗製程。就目前而言，以鹼性水溶液清洗製程取代含氯溶劑清洗製程是最被看好的發展之一，其所添加的物質主要有氫氧化鈉（NaOH）、碳酸鈉（Na 2 CO 3 ）、磷酸三鈉（Na 3 PO 4 ）、亞矽酸鈉（Na 2 SiO 3 ）及界面活性劑等組合而成。這些水溶液清洗劑一般是行乳化（emulsion）作用來達到去除油污之目的，有時亦需稍輔以加熱，並酌以機械、電子或超音波之作用力，以增強去污力。水溶液清洗製程雖可免除使用含氯溶劑所衍生的一些環境和健康上的問題，而僅產生一般性廢水，但是否會影響產品品質或增加不良率（例如造成銹斑點），則需特別注意。
至於所謂免洗製程，及使用表面黏著技術（ surface mounting technology，SMT），或使用「不必清洗」的助焊劑（flux）來達到不使用溶劑之目的，則最具發展潛力；此外，尚有一些免溶劑的清洗技術，例如蒸氣清洗（steam cleaning）、超臨界CO 2 、電漿清洗（plasma cleaning）、乾冰噴擊（dry ice blasting）等。
七、 結語
含氯有機溶劑與表面清洗處理業之關聯使用性相當高，且部分具不可取代性，而此種液態 VOC原物料因其物性極易形成有害空氣污染物，造成環境空氣品質劣化及勞工安全健康之嚴重危脅。另一方面，未來國內產業主流之上游高科技電子業，包括半導體、光電顯示器、奈米精密機械、印刷電路板等，皆需透過表面清洗處理程序。故如何藉由最佳的可行控制技術，以代替這些毒性化學物質或環境不友善物質，或者至少回收再利用這些液態／氣狀VOC，來達到工業污染預防目的，將有賴綠色化學／綠色工程之清潔生產技術。
表 1. 常用含氯有機溶劑之主要辨識性、物性及環境危害性一覽
特性 |
二氯甲烷 |
三氯甲烷 |
1,1,1-
三氯乙烷 |
三氯乙烯 |
四氯乙烯 |
HCFC-141b |
HCFC-225ca |
HCFC-225cb |
CAS No. |
75-09-2 |
67-66-3 |
71-55-6 |
79-01-6 |
127-18-4 |
1717-00-6 |
422-56-0 |
507-55-1 |
分子式 |
CH 2 Cl 2 |
CHCl 3 |
CH 3 CCl 3 |
CHClCCl 2 |
CCl 2 CCl 2 |
CH 3 CFCl 2 |
CF 3 CF 2 CHCl 2 |
CClF 2 CF 2 CHClF |
分子量 |
84.9 |
119.4 |
133.4 |
131.4 |
165.9 |
117.0 |
202.9 |
202.9 |
沸點（℃） |
39.6 |
61.2 |
74.1 |
87.2 |
121.2 |
32.1 |
51.1 |
56.1 |
液體密度 a （ g/cm 3 ） |
1.33 |
1.49 |
1.34 |
1.46 |
1.62 |
1.22 |
1.55 |
1.56 |
大氣壽命（ yr） |
~0.5 |
~1.0 e |
~7.0 |
~0.0 |
~0.4 |
~12 |
~2 |
~7 |
ODP b |
NA d |
NA |
~0.1 |
NA |
NA |
0.10 |
0.02 |
0.02 |
GWP c |
NA |
NA |
~12 |
NA |
NA |
~570 |
~120 |
~500 |
爆炸限值（％） |
13-23 |
NA |
7.5-12.5 |
8.0-10.5 |
NA |
7.3-18.3 |
NA |
NA |
a. 25℃
b. Ozone depletion potential（相對於CFC-11=1.0）；此表部分資料參考Tsai,
W.T. (2002), J. Loss Prevention in the Process Industries , 15, pp. 147-157.
c. Global warming potential（相對於CO 2 =1.0）.
d. Not applicable.
e. Estimated.
表 2. 國內近年來主要含氯有機溶劑之進口量統計 a
年度 |
二氯甲烷 |
三氯甲烷 |
四氯化碳 |
1,1,1-三氯乙烷 |
三氯乙烯 |
四氯乙烯 |
HCFC-141b |
HCFC-225 |
1996 |
6353 |
3130 |
NA b |
1501 |
8195 |
1066 |
NA |
NA |
1997 |
4846 |
5213 |
NA |
2502 |
5326 |
1176 |
750 |
57 |
1998 |
4326 |
5149 |
NA |
1527 |
4436 |
640 |
1225 |
128 |
1999 |
6618 |
6147 |
NA |
1000 |
2893 |
371 |
1529 |
109 |
2000 |
7346 |
9739 |
NA |
1104 |
2408 |
378 |
1221 |
59 |
2001 |
7545 |
10169 |
NA |
663 |
1876 |
179 |
1447 |
13 |
2002 |
5542 |
8430 |
NA |
1306 |
1811 |
224 |
1649 |
6 |
a. 資料來源：財政部關稅總局統計資料；單位：公噸
b. NA表not available；此乃因國內為符合蒙特婁公約之規定，自1996年起禁
止四氯化碳進口。
表 3. 1995年美國前十大致癌性化合物毒物排放之排放清單（TRI）數據一覽
化合物 |
總排放量（ lb） |
Dichloromethane |
57,289,960 |
Styrene |
41,873,608 |
Trichloroethylene |
25,489,839 |
Formaldehyde |
19,426,396 |
Acetaldehyde |
14,410,140 |
Chloroform |
10,600,257 |
Benzene |
9,592,003 |
Tetrachloroethylene |
9,400,811 |
Acrylonitrile |
6,471,484 |
Acrylamide |
6,141,395 |
Subtotal |
200,695,893 |
Total of all OSHA carcinogens |
230,134,414 |
資料來源：美國環保署（ http：//www.epa.gov/tri ）
表 4. 主要含氯有機溶劑工業衛生標準及致癌特性分類一覽
化合物 a |
ACGIH b |
IARC c |
國內 d （ ppm） |
TLV-TWA
（ ppm） |
TLV-STEL（ppm） |
TLV Basis（critical effects） |
二氯甲烷 |
50 |
— |
CNS, anoxia |
2B |
50 |
三氯甲烷 |
10 |
— |
Liver, reproductive |
2B |
10 |
四氯化碳 |
5 |
10 |
Liver, cancer |
2B |
2 |
1,1,1-三氯乙烷 |
350 |
450 |
Anesthesia, CNS |
— |
350 |
三氯乙烯 |
50 |
100 |
CNS, headache, liver |
2A |
50 |
四氯乙烯 |
25 |
100 |
Irritation, CNS |
2B |
50 |
a 由於HCFC-141B及HCFC-225為近年來始商業化使用之化合物，故尚未建立
其暴露容許標準及致癌性類別。
b 資料來源：American Conference of Governmental Hygienists 2001年版；TLV-
TWA：Threshold Limit Value-Time-Weighted Average；TLV-STEL：Threshold
Limit Value-hort Term Exposure Limit。
c 資料來源：http//www.epa.gov/tri；IARC為International Agency for Research on
Cancer之縮寫，其中1 - carcinogenic to humans；2A - probably carcinogenic to
humans；2B-possibly carcinogenic to humans。
d 勞工委員會於1995年6月30日修正發佈之「勞工作業環境空氣中有害物容
許濃度標準」。
表 5. 常用氣狀VOC控制技術比較 a
控制技術 |
可應用濃度範圍（ ppmv） |
處理容量範圍（ cfm） |
去除效率（％） |
回收 |
二次污染物 |
直接焚化 |
100~2,000 |
1,000~500,000 |
55~99+ |
熱回收 |
燃燒產物（ i.e. NOx） |
觸媒焚化 |
100~2,000 |
1,000~100,000 |
90~95 |
熱回收 |
廢觸媒、再生酸鹼液 |
碳吸附 |
20~5,000 |
100~60,000 |
90~98 |
藉再生回收 VOC |
廢活性碳、再生劑 |
凝結 |
＞ 5,000 |
100~20,000 |
50~90 |
藉澄分（ decanting）回收VOC |
凝結液 |
吸收 |
500~5,000 |
2,000~100,000 |
95~98 |
藉澄分 /蒸餾回收VOC |
廢吸收劑或再生劑 |
a 資料來源： Moretti, E.C. and Mukhopadhyay, N., Chem. Eng. Prog., July 1993
, pp. 20-26. |
